Infrarotkamera mit Mikroskop-Optik
Elektronikbaugruppen bestehen aus immer kleineren Strukturen und sind sehr kompakt aufgebaut. Um Temperaturen auch bei Chip-Level-Strukturen exakt und geometrisch hoch aufgelöst zu messen, bringt Optris jetzt für die Infrarotkamera PI 640i eine neue Mikroskop-Optik auf den Markt.
Mit der neuen Mikroskop-Optik MO2X mit zweifach Vergrößerung ist die Infrarotkamera vom Typ PI 640i von Optris jetzt in der Lage, Infrarotbilder auch von komplexen Strukturen aufzunehmen. Die geometrische Auflösung beträgt mit der neuen Optik 8 µm.
Für eine exakte Temperaturmessung werden 4×4 Pixel benötigt (MFOV), sodass man jetzt Objekte mit einer Größe von nur 34 µm messen kann. Damit können also auch winzige Strukturen auf Chip-Level analysiert werden. Die thermische Auflösung erreicht 80 mK. Der Fokus der neuen Optik ermöglicht das Arbeiten in einer Distanz von 15 Millimetern zum messenden Objekt.
Da die Optiken an Infrarotkameras der PI-Serie einfach getauscht werden können, ist das System flexibel für verschiedene Messaufgaben einsetzbar. Zusammen mit dem mitgelieferten Mikroskopständer mit Feinjustierung lassen sich so mikroelektronische Baugruppen sehr einfach untersuchen.
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